ZVRシリーズウェーハ位置決め用垂直および回転統合ステージ

- 10mmの精密垂直移動と360度の連続角度移動を実現する超薄型デザイン
- 低質量と高い固有振動数により、すばやいステップ・アンド・セトル・アプリケーションに対応
- ステージの中心を通る大口径開口部により、チャックへ向かう真空および電気ケーブルの管理が容易
- ステージとチャックのすべての電気および真空コネクションを一カ所で高度に管理
- 3点取付により、XYステージや他のプラットフォームへの安定した取付けが可能

Newport社のZVR-PPおよびZVR-PCは、Z垂直とθ回転の位置決めステージで、直径が200 mmおよび／または300 mmのウェハチャックの精密な上昇と回転が可能な設計となっています。ZVRステージは、3点 (120度間隔) で積載物をしっかり支持してステージの外周に沿って駆動します。 Newportの3点デザインは、積載が若干ないし極端に不均衡になってチャックの外縁に沿って鉛直力がかかるおそれのある、ウェハプロービングなどのアプリケーションにとって有利です。このような中心から外れた負荷に起因する角度偏差は最小限に抑えられるため、垂直移動中に拘束が起こることはありません。また、ZVRステージは、ステージの中心の開口部が底面プレートまで続く独自設計となっています。この垂直軌道に沿ったステージの誘導は、極めて静音性に優れた3つの小型再循環ベアリングガイドによって行われます。また、ZVRは、ステージを絶対基準位置 (ホームポジション) に戻すことができるハードウェア原点と、ユーザが垂直移動の上限を設定できるリミットスイッチも備えています。