RGV-Sシリーズ高速精密回転ステージ

- ブラシレスダイレクト駆動方式により高速回転、高トルク、高い信頼性、および優れた位置感度を達成
- 115 mm × 115 mmの極めて狭い設置面積（RGV100の場合）
- 精密ガラススケールエンコーダによる卓越した繰り返し再現性
- 高効率ブラシレスDCトルクモータが、利用可能なトルクを最適化してすばやい2点間移動を実現

RGVシリーズはダイレクト駆動方式のコンパクトな回転ステージで、極めて優れた最小移動量と卓越した位置決め性能を兼ね備えた超高速回転を実現します。摩耗のないダイレクト駆動モータにより信頼性に優れた操作が保証されます。また、位置決めの高い繰り返し再現性を実現する高精密ガラススケール、高い剛性をもたらしブレを低く抑える大直径ベアリングを備えています。RGVは、位置決めへの使用やスピンドルとしての利用が可能です。用途としては、半導体ウェハ検査、マイクロロボティクス、精密計測、モーションシミュレータなどが挙げられ、特にMEMS、ジャイロ、加速度計の試験に適しています。RGVは、速度とトルクの要件に応じたドライバオプションを装備したXPSコントローラと互換性があります。