XM-Sシリーズ 超精密リニアモータステージ
- 最小移動量が1nmの超高性能ステージ
- ダイナミクスと信頼性の高い超精密モーションを保証する非接触直接駆動システム
- 精密ガラススケールエンコーダが80nmの再現性で正確な位置をフィードバック
- 熱の発生を最小限に抑える超大型で高効率のリニアモータ
- 超静音のアンチクリープ式クロスローラベアリングにより、ケージの移動を必要とせずにリップルなしのモーションを実現
製品番号
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※記載の標準納期は目安です。詳細はお問合せください。
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製品番号
備考
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税抜価格