RGAシリーズ　薄型大口径アパーチャー高精度・精密回転ステージ

マイリスト

RGAシリーズ、ロープロファイル、高速回転ステージは、低荷重で大口径を必要とするが、ウェーハチャックなどのサンプルホルダーの高速で正確な回転を必要とする産業用アプリケーションに最適です。

【特徴】
・高速回転、薄型、大口径
・高い再現性
・低いぐらつきと偏心
・高いトルクと加速
・高剛性と熱安定性のためのすべての鋼構造
・プラグアンドプレイESP互換性

Models	New RGA150	New RGA150MAP
Angular Range	360 °	360 °
Maximum Speed	1800 °/s	1800 °/s
Minimum Incremental Motion	0.01 mdeg	0.01 mdeg
Peak Motor Torque	11 Nm	11 Nm
Centered Load Capacity	50 N	50 N
Bi-directional Repeatability, Typical	±0.0975 mdeg	±0.0975 mdeg
Accuracy, Typical	±4 mdeg
Accuracy, Guaranteed	±8 mdeg	±1 mdeg
Wobble, Typical	±12 µrad	±12 µrad
Wobble, Guaranteed	±26 µrad	±26 µrad
Eccentricity, Typical	±0.5 µm	±0.5 µm
Eccentricity, Guaranteed	±1 µm	±1 µm
Aperture Diameter	90 mm	90 mm
MTBF	20,000 hours @ 30% duty cycle	20,000 hours @ 30 % duty cycle
Cable Length	5 m	5 m
Weight	4.5 kg	4.5 kg

【特徴】

Low Profile：　薄型の RGAシリーズ、XY軸に対するウェーハの位置を可能な限り低くすることが出来、XYおよびRGAからの幾何学的誤差の影響を低減します。これにより、最終的にウェーハレベルでの精度と再現性が向上し、測定またはプロセスの信頼性が向上します。ウェーハをより正確に配置することで、これらの幾何学的エラーを修正する必要性が減り、プロセス時間の短縮が意味されます。

Large Aperture：　RGAシリーズは大口径のアパーチャーにより、より多くのユーティリティがステージを通過し、ウェーハチャックに接続できます。より多くの真空ゾーンを設計して、より平坦なウェーハを確保できます。第二に、より広いスペースで、これはホース、ケーブルからのひずみまたは抗力を最小限に抑え、信頼性を高め、加速に必要なトルク/パワーを減らします。スルーホールアプリケーションの場合、これは単に、より大きなサンプルを検査または処理できることを意味します。

High Torque Motor：　高トルクのダイレクトドライブモーターにより、ウェーハの高速位置決めまたは位置合わせのための高加速が可能になります。高トルクは、ホースとケーブルによって引き起こされる摩擦を克服することができます。非接触モーターは、モーターコンポーネントの摩耗がないことを意味し、長年にわたって信頼性の高い動作を保証します。

Fast Speed and Acceleration：　高速回転と高加速により、ウェーハのパターニング、テスト、検査、修理など、プロセスをより迅速に完了することができます。応答時間と整定時間も、RGAの構造設計によって最適化されています。これらはすべて、より高速なスループットを可能にします。

Metrology Report Included at No Additional Cost：　Newportでは、ASMEB5.57およびISO230-2規格に従って測定および記録された仕様値を保証します。通常のパフォーマンス値は、保証された仕様の2倍です。

Mapped Version with Guaranteed Higher Accuracy：　重要なポジショニングアプリケーション向けに、マップされた検証RGA150MAPを提供しています。エラーマップの結果を測定、実装、検証し、各ステージの位置精度を個別に最適化します。校正証明書がステージに提供されます。測定は20.0±0.2°Cで行われます。校正証明書がステージに提供されます。リクエストに応じて、実際のデータを提供することもできます。